產(chǎn)品中心
Products Center
本機(jī)包括下片機(jī)架和檢測機(jī)架,下片機(jī)架的一端設(shè)有晶圓放置臺(tái);檢測機(jī)架的一端至另一端依次設(shè)有中轉(zhuǎn)取料裝置、晶圓轉(zhuǎn)送裝置、晶圓檢測機(jī)、測試取料裝置、中轉(zhuǎn)放置臺(tái)、旋轉(zhuǎn)放料裝置,本機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)下片后晶圓的全自動(dòng)檢測,不但檢測效率提高,且有效確保了晶圓檢測過程中晶圓的質(zhì)量及合格率不受影響。
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